E04600 - SEMI E46 - イオン移動度分光計（IMS）を使用したミニエンバイロメントからの有機汚染分析の試験方法 StdTpc-Wafer Edge Profile SEMI G86-0303 (first published)

SEMI G86-0303 (first published)

SEMI E84-1109 (technical revision)

Semu的量測方法，以及處理Semu改版後的定義。典型的目標顯示器尺寸，其對角線是由8英吋（20

本スタンダードが意図しているのは，すべてのメカニカルインタフェースにおいて，モジュール性と互換性を確保しながら，技術革新を妨げないよう最小レベルの仕様を定めることである。FOBITに対するメカニカルインタフェースだけが規定されており，材料に対する要求事項やパーティクルなどの汚染限度は示されていない。しかしながら，金属製や射出成型プラスチック製のFOBITの両方がスタンダードに準拠して製造できるように，本スタンダードは作成されている。

E04600 - SEMI E46 - イオン移動度分光計（IMS）を使用したミニエンバイロメントからの有機汚染分析の試験方法 StdTpc-Wafer Edge Profile SEMI G86-0303 (first published)NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Metrics Global Technical Committee200118global Audits and Reviews Subcommittee20072www. semi. org199520013 NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not